半導體奈米級製程添助力 國內首項鉛元素參考物質已開發
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記者-編輯部
2019-12-11 19:46:38 

【101新聞網整理報導】經濟部標準檢驗局設置的國家度量衡標準實驗室自即日起,增加新設置「靜態重力法無機元素供應驗證系統」,協助國內電子級試劑污染物分析之計量追溯,相關訊息已公布在國家度量衡標準實驗室網站(http://www.nml.org.tw)。

標準檢驗局表示,新建置的「靜態重力法無機元素供應驗證系統」主要用於參考物質驗證與提供客製化的技術服務。首先推出鉛元素參考物質,此為國內首項依據ISO 17034品質規範生產的鉛元素參考物質,可作為國內電子級試劑污染物分析之計量追溯。

目前半導體在奈米製程對於許多污染物非常敏感,並顧慮製程中所使用試劑遭遇到微量金屬污染物,所以對於電子級試劑的品管要求日漸嚴苛,而該系統新建後可為國內廠商提供在地化及客製化的分析技術服務。新開發的「靜態重力法無機元素供應驗證系統」係利用滴定方式進行液態鉛元素之參考物質濃度驗證,可供應1,000 mg/kg ± 2 mg/kg鉛元素之參考物質,與美國及日本生產之驗證參考物質具技術等同性,相對不確定度均小於0.2 %。


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